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Specialty Gas

C4F6 / WF6
CH2F2
high-purity HF
C3H2F6
高纯度氟化氢（HF）
c4f6

高纯度氟化氢（HF）
[Hydrogen fluoride]

· 用途 用于半导体扩散（Diffusion）及晶圆清洗（Wafer Cleaning）工艺中的气体。
· 容器 钢瓶材质：Mn-SUS316L，容量：47L / 阀门：DISS638 /
充装重量：10KG, 25KG

MSDS Download

· Product Specifications

Classification Unit Standard
纯度 % > 99.99
水分（H2O） ppm < 1
氮气（N2） ppm < 1
甲烷（CH4） ppm < 1
水分（H2O） ppm < 5
四氟化硅（SiF4） ppm < 3
砷（As） ppb < 100
铁（Fe） ppb < 50