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특수가스

C4F6 / WF6
CH2F2
고순도 HF
C3H2F6
고순도 HF
c4f6

고순도 HF[High Purit Hydrogen fluoride]
[Hydrogen fluoride]

· 용도(APPLICATION) 반도체 Diffusion 및 Wafer Cleaning 공정에서 사용되는 gas
· 용기(PACKING) 실린더 : Mn-SUS316L, 47L / 밸브 : DISS638 /
충전 무게 : 10KG, 25KG

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· 제품 SPEC

구분 단위 규격
순도 % 99.995 이상
H2O ppm 1 이하
N2 ppm 1 이하
CH4 ppm 1 이하
H2O ppm 5 이하
SiF4 ppm 3 이하
As ppb 100 이하
Fe ppb 50 이하